Zeiss SMT расширяет производство в Оберкохене на 25 000 кв. метров — ключевом месте сборки оптики для ASML
ASML планирует увеличить выпуск Low-NA EUV-сканеров на 30% в 2027 году, расширяя мощности для загрузки заказов
Выручка Zeiss SMT от поставок для ASML выросла до €4,41 млрд в 2025 году, а кредиты и авансы от ASML превысили €3 млрд
Высокоапертурная оптика для High-NA EUV весит 12 тонн и содержит свыше 40 000 деталей, а цикл сборки сканеров ASML сокращается до 15–16 недель
Компания Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology (Zeiss SMT) подтвердила расширение производственных мощностей в немецком городе Оберкохен — почти на 25 000 квадратных метров. Первый корпус уже готов: сотрудники начали переезжать в новое офисное здание в июле 2026 года, спустя четыре года после начала строительства в мае 2022 года. Остальные производственные и лабораторные корпуса, включая столовую для персонала, будут вводиться в эксплуатацию поэтапно.
Источник изображения — tomshardware.com
Для мировой полупроводниковой отрасли это не рядовая новость: Оберкохен и завод в Вецларе — единственные две площадки на планете, где производят оптические колонны для литографических сканеров ASML. В годовом отчете сама ASML прямо признаёт: количество систем, которые компания способна выпустить, ограничено именно производственными возможностями Zeiss SMT, а не спросом рынка. Более того, без стабильных поставок Zeiss ASML, по формулировке из отчёта, фактически не сможет вести бизнес.
Расширение подоспело вовремя. Ранее в этом же месяце ASML сообщила инвесторам о планах нарастить выпуск сканеров Low-NA EUV примерно на 30% в 2027 году — с текущих около 65 систем в год, и уже прорабатывает возможность ещё одного скачка на 30% в 2028 году. Финансовый директор ASML Роджер Дассен на июльском звонке с инвесторами также рассказал, что цикл сборки сканеров сокращается — примерно с 22 недель до 15–16. Параллельно ASML готовит повышение цен на Low-NA EUV-машины, что, по имеющимся данным, уже вызвало недовольство со стороны TSMC.
Дело не только в объёмах, но и в физической сложности самой оптики. В Zeiss отмечают, что рост спроса на чипы подпитывает прежде всего искусственный интеллект — именно он требует всё более совершенных микросхем, а значит, и более мощной литографической оптики. Новые площади в Оберкохене задействуют под шлифовку и обработку зеркал для EUV-систем на ЧПУ-станках, их покрытие, прецизионную очистку, производство оптических компонентов, а также под дополнительные чистые помещения под оптику для перспективной платформы High-NA EUV.
Масштаб этой оптики впечатляет: проекционный узел High-NA содержит свыше 40 000 деталей и весит около 12 тонн — примерно в семь раз больше по объёму и массе, чем у стандартной EUV-оптики. Система освещения добавляет ещё 25 000 деталей и 6 тонн. Отдельные зеркала High-NA весят по несколько сотен килограммов — вдвое больше и на порядок тяжелее нынешних EUV-зеркал, а их шлифовка до нужной формы занимает месяцы. Для проверки готовых зеркал используется вакуумная камера размером 5 на 10 метров, собранная более чем из 100 000 деталей и весящая свыше 150 тонн. Неудивительно, что один сканер класса High-NA EUV оценивается примерно в 350 млн евро — вдвое дороже систем Low-NA. В этом же месяце Intel первой в отрасли начала отгрузку продукции, произведённой на серийных сканерах с числовой апертурой 0.55. Дополнительные площади ускоряют логистику и сборку, но ни один из перечисленных технологических этапов сократить не могут — это вопрос физики, а не квадратных метров.
Растущая зависимость ASML от Zeiss хорошо видна и в финансовых показателях. Закупки у Zeiss SMT и её дочерних структур достигли 4,41 млрд евро в 2025 году против 3,95 млрд евро в 2024-м и 3,33 млрд евро в 2023-м. На конец 2025 года задолженность ASML перед Zeiss SMT составляла 1,91 млрд евро — против 1,44 млрд евро годом ранее, плюс ещё 1,19 млрд евро авансов за гарантированные поставки оптических колонн.
Финансирование этих поставок построено на двух кредитных линиях по 1 млрд евро — они были подписаны в сентябре 2021 и сентябре 2024 года. Летом ASML добавила к ним ещё 444 млн евро, а в ноябре выдала краткосрочный кредит на 212,5 млн евро. В мае 2025 года стороны пересмотрели рамочное соглашение — капитальные кредиты стали беспроцентными, срок их погашения растянут на 7 или 15 лет, а ежеквартальные выплаты теперь напрямую привязаны к выручке самой Zeiss SMT.
Для Zeiss эти инвестиции окупаются: за финансовый год, завершившийся 30 сентября 2025 года, выручка подразделения SMT выросла на 23%, до 5,055 млрд евро, — это лучший результат среди всех четырёх сегментов группы Zeiss. Компания продолжает расширяться и на других площадках: строит многофункциональный завод в Вецларе, прошлой осенью добавила 300 квадратных метров чистых помещений в Росдорфе и в этом же месяце открыла инновационный центр в Корее.
