Первый китайский иммерсионный DUV-сканер Aishengna: почему до уровня ASML ещё десять лет
Shanghai Aishengna назвали производителем первого отечественного иммерсионного DUV-сканера Китая. Разбираем, почему отставание от ASML — около десяти лет: трековые системы, фоторезисты, эксимерные лазеры и оптика Zeiss.
