Как Курт Петерсен создал индустрию MEMS и получил IEEE Medal of Honor
Пятно от чернил в коридоре IBM привело инженера к кремниевой микромеханике, статья на 50 страниц оформила MEMS в отдельную отрасль, а дальше были датчики давления для шаттла, ПЦР-детекторы сибирской язвы в почте США и кремниевые резонаторы вместо кварца.
