Все самое интересное по тегу: "DUV"

Китайская Prinano подтвердила серийный выпуск фотонных чипов на 8-дюймовых пластинах без DUV-литографии: наноимпринт PL-AS «штампует» структуры мельче 10 нм и снижает себестоимость примерно в десять раз. Как работает метод, почему начали с фотоники и какие вопросы к заявлению остались.

Малоизвестная госкомпания Shanghai Aishengna запустила мелкосерийное производство иммерсионных DUV-сканеров для SMIC, Hua Hong и CXMT. Новость обрушила капитализацию ASML на $44 млрд, но по технологиям Китай отстаёт от нидерландского гиганта на полтора десятилетия.

Shanghai Aishengna назвали производителем первого отечественного иммерсионного DUV-сканера Китая. Разбираем, почему отставание от ASML — около десяти лет: трековые системы, фоторезисты, эксимерные лазеры и оптика Zeiss.