УЗИ в кармане халата: как МЭМС уместили тысячи излучателей на кристалле 2×3 сантиметра
Громоздкие аппараты на тележке с гроздью датчиков уступают место ручным зондам, передающим картинку на смартфон. Внутри — кремниевый чип с 4–9 тысячами преобразователей, покрывающий весь диапазон от 1 до 10 МГц одним прибором. Разбираем две конкурирующие архитектуры CMUT и PMUT, их путь из лабораторий 1990-х в клиники и то, что ждёт технологию дальше.
